工

作

台

型    号

VMS-2010

VMS-3020

VMS-4030

VMS-5040

金属台尺寸(mm)

404×228

500×330

606×466

700×500

玻璃台尺寸(mm)

260*160

350*250

450*350

550*450

运动行程(mm)

200×100

300×200

400×300

500×400

Z轴升降行程（mm）

200（特殊订购达300,VMS-3020以上可订购至400）

截面原点一致性误差(μm)

E₀≤30（Z轴升降行程每100mm）;

X、Y、Z数显分辨力：0.5μm     X、Y坐标示值误差：（3+L/100）μm(L为被测长度，单位：mm)

影

像

系

统

1/3”彩色CCD摄像机

变倍镜头倍率：0.7X~4.5X

视频倍率：28X-180X

物方视场：8.1mm~1.3m

表面光源与透射光源均用LED，亮度可调